クオーツのるつぼは、高純度、高温耐性、大サイズ、高精度、良好な熱保存、省エネ、安定した品質の利点を有し、広く使用されています。石英るつぼの検出は非常に重要なリンクであり、石英るつぼの検出は、フィールド検出の方向に向かって開発されています!
1.石英るつぼは、透明および不透明を含む1450度以下で使用することができる。アーク法で作られた半透明の石英るつぼは、大口径の単結晶シリコンを描き、大規模な集積回路を開発するための必須の基本材料です。今日、世界の半導体産業の先進国は、小さな透明石英のるつぼをこのるつぼに置き換えました。それは高純度、高温抵抗、大きいサイズ、高精度、よい熱保存、省エネおよび安定した質の利点を有する。
2. HFと連絡が取れない。高温では、アルカリ金属の腐食性アルカリや炭酸塩と反応しやすい。
3.クォーツのるつぼは、フラックスとしてK2S2O7とKHSO4とNA2s207(最初に212°Cで乾燥)フラックスとして溶解サンプルに適しています。
4.石英は脆く、壊れやすいので、使用する際に注意してください。
5. HFを除く
通常の希薄無機酸は、洗浄液として使用することができる。単結晶シリコンを描く石英のるつぼは、18インチと20インチ22インチの石英るつぼを含む中国で一般的に使用され、22インチ以上のるつぼもメーカーによって使用されています。現在、中国の大きなるつぼメーカーが生産するるつぼの技術は比較的成熟しています。石英砂の原料は米国から輸入され、ノルウェーから高純度の石英砂が輸入されています。国内の資材を使用した小さな工場もあります。原料によって生成されるるつぼは、単結晶シリコンの安定性に一定の影響を与えます。
現在、るつぼ生産コーティング技術は、通常の石英砂で作られたるつぼの表面に二酸化バリウム溶液の層をコーティングして緻密な層を形成するほとんどのメーカーで使用されています。緻密な層は、単結晶シリコンの高温描画プロセス中にシリコンと石英のるつぼとの反応を防止し、結晶化速度を向上させることができます
